日本 OKK 大宫工业 OKH-MR 晶圆载具清洗机
2026-09-28 18:07:18
admin
日本 OKK 大宫工业 OKH-MR 晶圆载具清洗机
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 处理工件 | 载体 ×2 个 / 载具盒 ×2 个 |
| 外形尺寸 | W950×D1340×H1200mm；开盖 H2020mm |
| 本体外壳 | PVC TSP‑333（象牙白） |
| 旋转转子 | SUS304 电解研磨 |
| 节拍时间 | 15 分钟 / 次（随载具形状变化） |
| 转速 | 10‑600r/min，6 档可调 |
| 定时器设定 | 0‑999 秒 |
| 配方存储 | 10 种工艺 Recipe |
