日本进口春日电机 KASUGA KS-3101 支持真空的静电电位传感器

2024-07-30 11:28:40 admin

图表是用KS-3101测量在真空室内施加任意电压的带电板的电位的结果。即使在不同的压力环境下(真空下10-3Pa、大气压下10+5Pa )，也无需校正即可获得相等的测量值。

※该数据为实测值，并非保证值。

真空兼容静电电位传感器测量对真空室的影响

●排气分析比较

KS-3101_諸特性_アウトガス分析結果.jpg

根据对传感器释放的出气的分析，确定了气体的主要成分是由水和微量的碳氢化合物引起的。由于各个峰值与背景测量的峰值相同，因此可以认为是来自环境中吸附在传感器表面的气体。

●到达真空度的比较

KS-3101_諸特性_到達真空度の比較.jpg

排气装置:涡轮分子泵TG220FCAB ㈱ (株)大阪真空设备制作所制
排气速度: 220 L/sec (N2 )
暗箱尺寸:φ300 × L 300㎜

※该数据为实测值，并非保证值。

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