春日电机 KASUGA 支持真空的静电电位传感器 KS-3101 可以用于测量真空内产生的静电

2024-08-01 09:07:58 admin

支持真空的静电电位传感器( KS-3101 )
vacuum-compatible-electrostatic-potential-sensor ( ks-3101 )

由于真空中缓和静电的气体成分稀薄，静电会导致比大气压环境更严重的生产障碍。

支持真空的静电电位传感器是使用能够在真空环境下使用的材料或部件，可以用于测量真空内产生的静电的传感器。请用于确定真空工序中静电产生的原因，以及连续监视静电电位。

图表是用KS-3101测量在真空室内施加任意电压的带电板的电位的结果。即使在不同的压力环境下(真空下10-3Pa、大气压下10+5Pa )，也无需校正即可获得相等的测量值。

※该数据为实测值，并非保证值。

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