日本 OKK 大宫工业 OTS-15 晶圆盒转移机
2026-09-28 17:54:23
admin
日本 OKK 大宫工业 OTS-15 晶圆盒转移机
设备型号：OTS‑15（落地独立机型）
传送方式：伺服电机驱动；单工位磁带式晶圆盒转移，1 盒对 1 盒完成晶圆整体转移
单次转移作业时间：≥40 秒（可在触摸屏调整速度）
整机外形尺寸：宽 400 mm × 进深 510 mm × 高度 1187 mm
操作界面：彩色触控显示屏，参数设定、状态监控、报警显示一体化
适配载体：半导体晶圆卡盒（Cassette），完成不同料盒之间整片晶圆批量移送
电源规格：AC100‑240V；内置安全互锁，设备外装透明安全防护门；门打开自动暂停动作
工作环境温度：18‑26℃，适合洁净室使用（Class1000 洁净车间）
