日本 OKK 大宫工业 OTD‑25 台式晶圆移载机
2026-09-28 18:05:30
admin
日本 OKK 大宫工业 OTD‑25 台式晶圆移载机
整机外形尺寸：宽 433 mm × 进深 490 mm × 高度 625 mm
驱动系统：伺服电机驱动
传送模式：1 个晶圆卡匣 (Cassette) ↔ 1 个晶舟 (Boat) 双向移送；二级工位配置
单次移送作业时间：最少 50 秒（速度可在触摸屏参数界面调整）
操作界面：彩色液晶触控显示屏 + 急停按钮；整机外壳不锈钢材质
电源规格：AC200V，50‑60Hz
安全检测：晶圆有无检测、料盒在位检测、过载保护、故障报警、急停停止；
使用环境：半导体洁净室，Class1000 等级；环境温度 18‑26℃。
